Osadzanie Cienkowarstwowe - IC6

POWIELANIE DOSKONAŁOŚCI Bogaty w funkcje IC6 zapewnia najlepszą możliwą precyzję pomiaru Kontroler osadzania cienkowarstwowego IC6 oferuje wyjątkową wartość, łącząc sprawdzoną wydajność kontrolerów cienkowarstwowych INFICON z unikalnymi funkcjami, które mają na celu umożliwienie Ci maksymalnego wykorzystania procesu osadzania. IC6 wykorzystuje nasz system pomiaru częstotliwości ModeLock, aby zapewnić stabilny, wysokorozdzielczy pomiar szybkości i grubości z wiodącą w branży rozdzielczością szybkości wynoszącą 0,00433 Å/s co 1/10 sekundy. Żaden inny kontroler kryształu kwarcowego nie ma takiej wydajności, jakości i funkcji jak IC6, co pozwala na powielanie doskonałości. 1 Å dla 0 do 9.999 kÅ 10 Å dla 10.00 do 99.99 kÅ 100 Å dla 100.0 do 999.9 kÅ 1 kÅ dla 1000 do 9999 kÅ 0.001 dla 0 do 9.999 Å/s, jeśli ustawienie czasu filtra szybkości wynosi 10 sekund lub więcej 0.01 dla 0 do 99.99 Å/s 0.1 dla 100 do 999.9 Å/s 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Narzędzia/gęstość = 100/1, częstotliwość podstawowa = 6 MHz (2)... Rozdzielczość częstotliwości: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Rozdzielczość/pomiar grubości i szybkości (1): ±0.00433 Å Zakres częstotliwości pomiaru: 6.0 do 4.5 MHz (stały) Dokładność grubości (2): 0.5% Interwał pomiaru: 0.10 s Średnia wielu pomiarów: dozwolone średnie 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 i 30.0 sek. Auto Z: tak Autotone: tak Współosadzanie: tak (do 6 źródeł) Programy materiałowe: 32 Warstwy procesów (na proces): 200 Procesy: 50 (procesy mogą być ze sobą powiązane) Pamięć USB: tak Rejestrowanie danych: tak Dual / CrystalTwo®: 4 / 8 (z przełącznikiem CrystalTwo®) Liczba źródeł (4): do 6 Napięcia sterujące źródłem: 0 do +/-10 V, regulowane Rozdzielczość wyjścia: 15 bitów w całym zakresie (0 do 10V) Pozycje pieca: 64 Wejścia: 14 standardowych, do 28 opcjonalnych; kompatybilne z logiką TTL/CMOS lub zamknięcie do masy Wyjścia: 8 standardowych, do 24 opcjonalnych programowalnych przekaźników SPST o napięciu 30 V(dc) lub 30 V(ac) RMS lub 42 V peak Wyjście rejestratora (4): 0 do +10 V, regulowane Instrukcje logiczne: 100 w pełni programowalne; do 5 akcji, 5 zdarzeń na instrukcję Standard: RS232 Opcjonalnie: Ethernet Rozdzielczość grubości: 1 Å dla 0 do 9.999 kÅ 10 Å dla 10.00 do 99.99 kÅ 100 Å dla 100.0 do 999.9 kÅ 1 kÅ dla 1000 do 9999 k Rozdzielczość szybkości: 0.001 dla 0 do 9.999 Å/s, jeśli ustawienie czasu filtra szybkości wynosi 10 sekund lub więcej 0.01 dla 0 do 99.99 Å/ Wymagania zasilania: 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Temperatura pracy: 0 do 50 C (32 do 122 F) Wymiary, bez uchwytów (h x w x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Waga: 23 lbs (10.5 kg)