System Pomiaru Grubości Wafli Ims5420-th - Interferometry (białe światło)

IMS5420 to wysokowydajny interferometr białego światła do bezkontaktowego pomiaru grubości monokrystalicznych wafli krzemowych. Kontroler wyposażony jest w diodę superluminescencyjną (SLED) o szerokim zakresie długości fal wynoszącym 1 100 nm. Umożliwia to pomiar grubości wafli SI, zarówno niedopowanych, dopowanych, jak i wysoko dopowanych, przy użyciu tylko jednego systemu pomiarowego. IMS5420 osiąga stabilność sygnału poniżej 1 nm. Grubość można mierzyć z odległości 24 mm.