Ostateczna jakość obrazowania z wbudowaną izolacją akustyczną i wibracyjną, aktywną termostabilizacją, najniższym w branży szumem czujnika odchylenia wiązki optycznej 25 fm/√Hz oraz unikalnym systemem skanowania za pomocą końcówki umożliwia rutynowe obrazowanie o wysokiej rozdzielczości.
Wyposażony w ponad 50 trybów AFM, w tym tryb HybriD, wszystkie nowoczesne badania nanomechaniczne, elektryczne i magnetyczne są dostępne w podstawowej konfiguracji.
Zautomatyzowane badanie zestawów próbek według zdefiniowanego przez użytkownika scenariusza z przechowywaniem obrazów w bazie danych.
Inspekcja próbek o wymiarach do 200×200 mm i wysokości 40 mm w dowolnym punkcie z dokładnością pozycjonowania 1 μm.
Oprogramowanie Smart ScanT™ do optymalizacji parametrów skanowania jednym kliknięciem. To nie tylko algorytm, to raczej unikalny towarzysz, który pomaga nowicjuszom w AFM uzyskać obrazy o jakości przemysłowej i wspiera ekspertów.
Szerokie możliwości dostosowania integracji dodatkowego sprzętu optycznego.
Typ: skaner rurowy z czujnikami w zamkniętej pętli. Skanowanie za pomocą końcówki.
Zakres skanowania, XYZ: 100×100×10 µm lub 2×2×1 µm w trybie niskiego napięcia.
Typ pozycjonowania końcówki-próbki: motorowe pozycjonowanie próbki w XYZ.
Dryft termiczny XYZ: mniej niż 0,2 nm/min.
Zakres ruchu: 200×200 mm w XY, 30 mm w Z.
Dokładność pozycjonowania: 1 µm w XY, 0,2 µm w Z.
Prędkość pozycjonowania: 8 mm/s w XY.
Podejście: inteligentny algorytm miękkiego podejścia.
Szum czujnika odchylenia wiązki optycznej: <25 fm/√Hz powyżej 50 kHz.
Rozdzielczość: 0,98 μm.
Pole widzenia: do 1,2×0,8 mm (5 Mpikseli).
Autofokus: na belce, na próbce.
Proby AFM: uchwyt próby obsługuje większość dostępnych komercyjnie końcówek.
Liczba kanałów skanowania: do 24.
Przetwarzanie sygnału: 512 Mb pamięci buforowej, 3x 340 MHz FPGA, 320 MHz DSP.
Wzmacniacze lock-in: 2x analogowe wzmacniacze lock-in, 3x cyfrowe wzmacniacze lock-in (wsparcie dla trybów AFM o wielu częstotliwościach).
Generatory: 6x 32-bitowe generatory cyfrowe, 4x dla Lock-in.
Testy własne: zautomatyzowana kontrola wydajności.
Automatyczna regulacja parametrów skanowania: amplituda napędu, wzmocnienie lock-in, punkt ustawienia, wzmocnienie sprzężenia zwrotnego, szybkość skanowania.
Narzędzia programistyczne: język Nova PowerScript, integracja LabView, integracja bazy danych.
Interfejs PC: USB.
Stabilizacja temperatury: wbudowana stabilizacja termiczna bez wentylatora z dokładnością 0,05 °C.
Izolacja akustyczna: wbudowana obudowa akustyczna.
Izolacja wibracyjna: wbudowany aktywny stół izolacyjny.
Nanolitografia: Napięcie, Prąd, Siła (wszystkie wektory i rastry).
Spektroskopia: Siła-, Amplituda-, Faza-, Częstotliwość-, Prąd-Odległość, I(V), Piezopuls, Tryb niestandardowy.
Wymiary: S×D×W; 810×610×1450 mm.