Narzędzia do osadzania i trawienia - Technologia plazmowa - PlasmaPro 100 PECVD Cluster

Narzędzia do produkcji kasetowej PlasmaPro 100 Cobra zgrupowany z użyciem 7-kierunkowego robota Moduły procesowe i platformy narzędziowe 200 mm i wielowaflowe oferujące doskonałą jednorodność i wysoką wydajność w szerokim zakresie zastosowań, jako systemy samodzielne lub zgrupowane. Platformy mogą być zgrupowane, aby połączyć technologie i procesy z opcjami ładowania kasetowego lub pojedynczego wafla. Dostępne są konfiguracje komór transferowych w kształcie heksagonalnym lub kwadratowym. ** Kliknij, aby poprosić o wycenę **