Nowe pompy ATH M osiągają przepływ gazu przekraczający 5.000 sccm dla azotu w zastosowaniach niegrzanych. Ponadto oferują najwyższy dostępny na rynku przepływ dla argonu wynoszący 1.500 sccm oraz temperaturę pracy pompy wynoszącą 65 °C w zastosowaniach korozyjnych.