H112 może bez problemu obsługiwać wafle o średnicy 12 cali (300 mm) i współpracuje z wieloma robotycznymi systemami załadunku wafli.
Stół H112 jest idealny do skanowania różnych wafli półprzewodnikowych, fotomasek, wyświetlaczy LCD i płytek drukowanych. H112 może bez problemu obsługiwać wafle o średnicy 12 cali (300 mm) i współpracuje z wieloma robotycznymi systemami załadunku wafli. Ponadto H112 może być używany do aplikacji w świetle przechodzącym z obszarem przejrzystości 250 mm x 250 mm.
Cechy szczególne:
- Odpowiedni dla większości popularnych marek mikroskopów
- Powtarzalność 1µm lub lepsza
- Opcjonalne skale liniowe 100nm oferują najwyższą dostępną rozdzielczość
- Szeroki wybór uchwytów do wafli
- Zakres 302 mm x 302 mm (12″x12″)