Innovacera wykorzystuje swoją głęboką wiedzę na temat ceramiki oraz możliwości procesowe do produkcji ceramiki o precyzyjnie kontrolowanej porowatości. Ceramika porowata jest często stosowana w filtracji chemicznej i separacji cieczy.
Asortyment ceramiki porowatej Innovacera wykonany jest z tlenku glinu i węglika krzemu. Mocna, jednorodna ceramika porowata ma 40-50% otwartej porowatości z krętym układem porów i jest dostępna w rozmiarach porów od 1 do 100 mikronów.
Trzy główne zastosowania ceramiki porowatej:
- Vacuum Chuck, jak na przykład vacuum chuck do maszyny do rysowania, vacuum chuck do wafli krzemowych.
- Platforma adsorpcyjna.
- Platforma zawiesinowa.
Szczególnie szeroko stosowane są w przemyśle półprzewodnikowym, na przykład w przetwarzaniu wafli LED.
Mikroporowaty dysk roboczy ceramiki to specjalne narzędzie do adsorpcji i podparcia w różnych procesach produkcji wafli półprzewodnikowych, stosowane w procesach takich jak cienienie, cięcie, czyszczenie i obsługa.