Urządzenie PSG5xx do zakresu ciśnienia atmosferycznego do
Das äußerst kompakte Pirani-Messgerät bietet sehr zuverlässige Messungen im Bereich von 5 E-4 mbar bis Atmosphäre.
Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.
Leistungen
•Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
•Platzsparendes, robustes Design
•Aluminiumgehäuse
•Montage in beliebiger Position
•Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
•Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
•10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
•Bei 250 °C ausheizbare Version
•Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
•Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)