Seria RGA

System do analizy zawartości pojemnika lub pochodnych procesu - Zakres masy: 50, 100, 200, 300 lub 510 amu - Minimalne stężenie wykrywalne (HALO): 2 x 10-13 mbar - Minimalne stężenie wykrywalne (3F): 2 x 10-14 mbar - Minimalne stężenie wykrywalne (3F-PIC): 2 x 10-15 mbar - Źródło jonów: dostępny zakres źródeł przez uderzenie elektronów - Pełna kontrola źródła jonów: tak - Emisja elektronów: regulowana programowo w zakresie od 1 µA do 2 mA - Energia elektronów: regulowana programowo w zakresie od 0 V do 150 eV - Energia jonów: regulowana programowo w zakresie od 0 V do 10 eV - Detektor: detektor Faradaya i mnożnik elektronów - Flansza (HALO): flansza DN-35-CF (2.75"/70 mm) - Flansza (3F ? potrójny filtr): flansza DN-63-CF (4.5"/114 mm) Zakres zastosowania: Analiza gazów i par w procesach i komorach próżniowych. Opcje zakresu masy: 50, 100, 200, 300 lub 510 amu: Kontrola MASsoft przez RS232, USB lub wiele systemów przez Ethernet LAN Opcje detektorów oferują czułość od próżni do ultra-próżni, UHV: Szybki dostęp do histogramu, analizy trendów i wyświetlania pików analogowych Stabilność (mniej niż ±0.5% zmiany wysokości w ciągu 24 h): Skanning w trybie mieszanym, np. analiza trendu, histogram i piki analogowe