SIGA GMBH

SIGA rozwija i buduje systemy dostosowane do pomiaru, regulacji i sterowania przepływami gazów oraz do odparowywania i dozowania cieczy Precursor, uzupełnione systemami zasilania Precursor. Dzięki naszym systemom gazowym możesz dozować jeden lub wiele gazów lub Precursor i dostarczać je do jednego lub wielu punktów użycia. Systemy są uzupełnione komputerowym sterowaniem z odpowiednim oprogramowaniem i sprzętem. Projektowanie odbywa się zgodnie z Twoimi życzeniami na podstawie naszego doświadczenia. Oferujemy m.in. systemy odparowywania Precursor i systemy zasilania, systemy palników, systemy kondycjonowania filtrów węglowych. Wykorzystywane są regulatory przepływu masy MFC, zawory, filtry, czujniki ciśnienia, czujniki temperatury itp. Obszar zastosowania to wszędzie tam, gdzie gazy są wykorzystywane w procesach produkcyjnych, np. do osadzania cienkowarstwowego CVD. Certyfikat DIN EN ISO 9001 Systemy od SIGA •Systemy odparowywania Precursor ◦Odparowywacz dla jednego Precursor ◦Odparowywacz dla 2 lub więcej Precursor ◦Dozowanie cieczy z następującym odparowaniem •Systemy zasilania Precursor •Systemy mieszania gazów •Systemy gazów czystych •Stacje ładowania AKF •Systemy palników