Elektropolerowanie dla technologii wysokiej i ultrawysokiej próżni

Powierzchnie narażone na wysoką i ultrawysoką próżnię (wewnętrzne ściany komory, wyściółki, elementy) podczas odsysania oddają zaadsorbowane na nich gazy i wodę do próżni, co skutkuje częściowo znacznymi czasami pompowania. Aby skrócić czasy pompowania, szczególnie skuteczne jest (oprócz podgrzewania) elektropolerenie odpowiednich powierzchni. Z powodu istniejącej problematyki proces polerowania jest tak dobierany, aby otworzyć i uwolnić komory w materiale oraz w powierzchni. Czas odgazowywania jest w ten sposób drastycznie skracany. Poprawia się również zdolność czyszczenia powierzchni. Całe komory z przylutowanymi przyłączami, np. urządzenia do analizy powierzchni, są wyposażane w dostosowane elektrody i elektropolowane.