LeviWafer-Gripper

System transportowy LeviWafer-Gripper umożliwia podnoszenie i transportowanie wrażliwych wafli bezkontaktowo. W połączeniu z transportem możliwe jest również (roz)ładowanie stosów i kaset. Chwytak wykorzystuje technologię łożysk ultradźwiękowych, aby utrzymać wafer w odległości, co umożliwia bezkontaktowy transport. Oprócz mikro-zarysowań i mikro-pęknięć, unika się zanieczyszczenia przez cząstki, ponieważ bez sprężonego powietrza nie powstają turbulencje powietrza. Dlatego chwytak jest również bardzo odpowiedni do pomieszczeń czystych. LeviWafer-Gripper może być zaprojektowany z pojedynczym lub podwójnym łopatką. Cechy LeviWafer-Gripper: - Bezkontaktowe podnoszenie - Brak mikro-zarysowań, mikro-pęknięć ani cząstek - Odpowiedni do standardowych kaset - Niskie zużycie energii - Możliwość dostosowania do specyfikacji klienta