Technologia Sensing RF
Technologia Sensing RF

Technologia Sensing RF

NIEINWAZYJNY, ZACISKOWY DETEKTOR RF DOSTARCZA WYSOKIEJ PRĘDKOŚCI WYKRYWANIE ŁUKÓW W iPVD, PECVD I ETCH Redukcja strat wafli i poprawa wydajności Łuki podczas przetwarzania plazmowego mogą prowadzić do uszkodzenia celu i komory, co skutkuje uszkodzeniem podłoża i powstawaniem cząstek. W miarę zmniejszania się rozmiarów cech, urządzenia mikroelektroniczne stają się coraz bardziej podatne na uszkodzenia spowodowane łukami. Łuki mogą występować w każdym procesie wspomaganym plazmą, takim jak zjonizowane osadzanie fizycznej pary (iPVD), osadzanie chemiczne wspomagane plazmą (PECVD) oraz trawienie. Detektor Łuków Sion firmy INFICON stanowi kluczową pierwszą linię obrony. Sion umożliwia szybkie wykrywanie mikro-łuków i reagowanie na nie, zanim dojdzie do znacznych uszkodzeń lub odpadów. System zapewnia wykrywanie i analizę zdarzeń mikro-łuków plazmowych w czasie rzeczywistym.
Podobne produkty
1/15
Technologia Wykrywania RF
Technologia Wykrywania RF
Czujnik RF z FabGuard zapewnia analizę procesu plazmowego w czasie rzeczywistym, co znacząco redukuje zmienność procesu Technologia czujników RF INFI...
DE-50968 Köln
Technologia Sensing RF
Technologia Sensing RF
Detektor Sion™ RF zapewnia lepszą kontrolę i wyższe plony w procesach osadzania chemicznego w fazie parowej (CVD) oraz trawienia, poprzez niezawodne i...
DE-50968 Köln
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Masowe
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Masowe
MONITORUJ I KONTROLUJ SZYBKIE ZMIANY PROCESÓW Nowy analizator gazów resztkowych Transpector XPR 3+ (RGA) oferuje wiodące w branży prędkości pomiaru, a...
DE-50968 Köln
Analizatory Gazów Resztkowych (RGA) i Spektrometry Masowe
Analizatory Gazów Resztkowych (RGA) i Spektrometry Masowe
Wykrywanie wycieków w czasie rzeczywistym i wykrywanie punktów końcowych Analizator gazów INFICON Quantus LP100 zapewnia wykrywanie wycieków i wykryw...
DE-50968 Köln
Wykrywanie i Monitorowanie Chemiczne (GCMS/GC/IR)
Wykrywanie i Monitorowanie Chemiczne (GCMS/GC/IR)
Uprość i przyspiesz analizę gazów Micro GC Fusion oferuje znaczący wzrost wydajności dzięki szybkiemu podnoszeniu temperatury i modułowej architektur...
DE-50968 Köln
Wykrywanie i Monitorowanie Chemiczne (GCMS/GC/IR) - IRwin S
Wykrywanie i Monitorowanie Chemiczne (GCMS/GC/IR) - IRwin S
Detektor wycieków metanu IRwin® to innowacyjny, przenośny detektor gazu ziemnego, który umożliwia łatwe przeprowadzanie inspekcji rur gazowych oraz wy...
DE-50968 Köln
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Mas
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Mas
Samodzielny Wózek do Rozwiązywania Problemów Mobilnych Wózek Mobilny INFICON umożliwia przekształcenie Transpector CPM (Kompaktowy Monitor Procesu) w...
DE-50968 Köln
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Masowe - MPS100F
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Masowe - MPS100F
STANDARD ANALIZY GAZÓW Doskonała wydajność i świetna wartość dla ogólnych zastosowań próżniowych W miarę jak technologie produkcyjne się rozwijają, ...
DE-50968 Köln
Detektory wycieków - Sensistor ISH2000 Detektor wycieków wodoru, model biurkowy
Detektory wycieków - Sensistor ISH2000 Detektor wycieków wodoru, model biurkowy
Sensistor ISH2000 to solidne urządzenie do profesjonalnego wykrywania nieszczelności, zarówno ręcznego, jak i automatycznego. Unikalna metoda wykorzys...
DE-50968 Köln
Detektory wycieków - Detektor wycieków wodoru Sensistor Sentrac, model biurkowy
Detektory wycieków - Detektor wycieków wodoru Sensistor Sentrac, model biurkowy
Detektor wycieków wodoru Sensistor Sentrac to nowoczesne urządzenie do wykrywania wycieków w zastosowaniach przemysłowych. Oparty na wysoko selektywny...
DE-50968 Köln
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Mas - MPH100F
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Mas - MPH100F
ODKRYJ SWÓJ PROCES Niezrównana wydajność dla zwiększenia plonów i maksymalnego czasu pracy Rosnąca cena wafli krzemowych oraz zapotrzebowanie na got...
DE-50968 Köln
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Masowe - QMA 400
Analizatory Gazu Resztkowego (RGA) i Spektrometry Masowe - QMA 400
Niektóre warianty QMG 700 zostaną wycofane 31 stycznia 2018 Przekraczanie limitów detekcji z doskonałą stabilnością i wyrafinowaną rozdzielczością Sz...
DE-50968 Köln
Detektory wycieków - Sensistor XRS9012
Detektory wycieków - Sensistor XRS9012
Detektor wycieków wodoru Sensistor XRS9012 to szybkie, niezawodne i solidne urządzenie do wykrywania wycieków w infrastrukturze, takiej jak kable tele...
DE-50968 Köln
Detektory wycieków - HLD6000
Detektory wycieków - HLD6000
Testowanie szczelności dla najwyższych wymagań jakościowych INFICON podejmuje kolejny krok w kierunku detekcji nieszczelności na najwyższym poziomie ...
DE-50968 Köln
Detektory wycieków - Detektor wycieków helu UL1000
Detektory wycieków - Detektor wycieków helu UL1000
Technologia ULTRATEST™ Szybkość, czułość i niezawodność w wymagających zastosowaniach detekcji wycieków Detektor wycieków helu INFICON UL1000 Mobile ...
DE-50968 Köln

Aplikacja europages jest tutaj!

Skorzystaj z naszego ulepszonego wyszukiwania dostawców i twórz zapytania w drodze za pomocą nowej aplikacji europages dla kupujących.

Pobierz z App Store

App StoreGoogle Play