Technologia Wykrywania RF

Czujnik RF z FabGuard zapewnia analizę procesu plazmowego w czasie rzeczywistym, co znacząco redukuje zmienność procesu Technologia czujników RF INFICON oferuje bardzo dokładne, szerokopasmowe pomiary RF z rozróżnieniem częstotliwości dla narzędzi do przetwarzania półprzewodników. Dane RF dostarczają szczegółowych informacji na temat rzeczywistych warunków plazmy zarówno w rozwoju procesu, jak i w problemach produkcyjnych, co znacząco redukuje zmienność procesu. Najnowszy element zaawansowanej kontroli procesów w in situ, ten nieinwazyjny czujnik RF montowany na kablu łączy się z systemem integracji i analizy czujników FabGuard, oferując kluczowe informacje diagnostyczne, takie jak dokładne pomiary mocy komory i procesu oraz impedancji, analiza przyczyn źródłowych usterek (takich jak problemy z siecią dopasowującą), identyfikacja procesu dla dopasowania komory oraz modelowanie metrologii wafli w aplikacjach PVD, CVD i trawienia. Technologia czujników RF INFICON z FabGuard generuje bardzo dokładne modele, które przewidują metrologię wafli...