system plazmowy niskiego ciśnienia

... Wymiary komory próżniowej: Ø 1200 mm, T 2500 mm Objętość komory próżniowej: Około 2800 litrów Zamknięcie komory próżniowej: Drzwi z zawiasem Doprowadzenie gazu: 3 kanały gazowe przez MFC, kontroler przepływu masy (MFC) Generator: 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Pomiar ciśnienia: Pirani, manometr pojemnościowy Elektrody: Jedno- lub wielopoziomowe elektrody boczne Sterowanie: Pełny PC (Win. 10 IoT) Zasilanie: 400 V / 50 - 60 Hz Pompa próżniowa: według życzenia klienta...